Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2007.08a
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Pages.259-259
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2007

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

NO와 $NH_3$ rapid thermal nitridation 공정에 따른 SiON 막질 분석

이우정 (한밭대학교 정보통신공학과) ;
이정한 (한국표준과학연구원) ;
이연승 (한밭대학교 정보통신공학과) ;
조만호 (연세대학교 물리학과) ;
이연진 (한국표준과학연구원)

Published : 2007.08.15

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