Initial reactions of $Al_2O_3$ films on Si (001) grown by atomic layer deposition;in-situ synchrotron radiation photoemission spectroscopy

• Kim, Seok-Hwan ;
• Park, Ho-Yeong ;
• Baek, Jae-Yun ;
• Kim, Min-Guk ;
• Jeon, Cheol-Ho ;
• An, Jong-Ryeol ;
• Hwang, Chan-Guk ;
• Hwang, Han-Na ;
• Park, Jong-Yun ;
• An, Gi-Seok

• 김석환 (한국화학연구원, 성균관대학교 물리학과) ;
• 박호영 (한국화학연구원, 성균관대학교 물리학과) ;
• 백재윤 (성균관대학교 물리학과) ;
• 김민국 (성균관대학교 물리학과) ;
• 전철호 (성균관대학교 물리학과) ;
• 안종렬 (성균관대학교 물리학과) ;
• 황찬국 (포항가속기연구소) ;
• 황한나 (포항가속기연구소) ;
• 박종윤 (성균관대학교 물리학과) ;
• 안기석 (한국화학연구원)

• Published : 2007.08.15

• PDF