한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
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- Pages.118-118
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- 2007
스퍼터이온펌프의 소형${\cdot}$ 경량화 방법
- 발행 : 2007.08.15