한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

고진공시스템의 최적화 보조펌프 조합 전산모사

Simulation of Optimum Backing Pump Combination in High Vacuum System

  • 심지명 (인천대학교 신소재안전공학부 신소재공학) ;
  • 정광필 (인천대학교 신소재안전공학부 신소재공학) ;
  • 최형준 (인천대학교 신소재안전공학부 신소재공학) ;
  • 김형택 (인천대학교 신소재안전공학부 신소재공학)
  • 발행 : 2007.08.15
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드