Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

비정질/결정질 실리콘 이종접합 태양전지 특성에 있어 ZnO 투명전도산화막의 영향

  • 강민구 (고려대학교 신소재공학부) ;
  • 옥영우 (고려대학교 신소재공학부) ;
  • 탁성주 (고려대학교 신소재공학부) ;
  • 이정철 (한국에너지기술연구원 태양전지그룹) ;
  • 윤경훈 (한국에너지기술연구원 태양전지그룹) ;
  • 김동환 (고려대학교 신소재공학부)
  • Published : 2007.06.08
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Abstract

차세대 태양전지로 많은 연구가 이루어지고 있는 비정질/결정질 실리콘 태양전지 제작 과정 중에 투명 전극으로 사용되는 ZnO의 증착에 따른 태양전지 특성변화에 대한 연구를 시행하였다. 벌크 실리콘 웨이퍼 위에 비정질 실리콘을 증착한 후 공기 중에 노출된 경우와 노출 이후 산화막을 제거한 후 투명 전극으로 ZnO을 증착했을 경우 태양전지의 특성에 큰 영향을 미침이 확인되었다. 산화막 제거하지 않을 경우 개방전압 및 충진율의 저하를 가져 왔으며, 산화막이 제거된 경우 개방전압과 충진율의 증가로 인한 태양전지 특성이 향상되었음을 보여주었다.

Keywords