한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

레이저 변위 센서를 이용한 표면거칠기 측정방법

  • 안인석 (한국기술교육대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 최성주 (한국기술교육대학교 기계정보공학부) ;
  • 이우영 (한국기술교육대학교 기계정보공학부) ;
  • 김국원 (순천향대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2007.06.08
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초록

레이저 변위 센서를 이용한 비접촉식 표면거칠기 측정 방법에 관하여 접촉식과 비교 평가함으로 신뢰성을 확인하였으며, 비교측정하기 위하여 시편을 제작하고 접촉식 방법과 비접촉식 방법으로 측정하고 비교 분석하였다. 분석 결과 접촉식에 비해 비접촉식의 측정에서의 값은 신뢰할 수준으로 판단되었다.

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