Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

에어베어링을 이용한 회전형 스테이지 설계에 관한 연구

  • 윤덕원 (한양대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 김진호 (한양대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 신동익 (한양대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 이연덕 ((주)넥스타테크놀로지) ;
  • 정벌교 ((주)넥스타테크놀로지) ;
  • 한창수 (한양대학교 기계공학과)
  • Published : 2007.06.08
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Abstract

에어 베어링은 높은 강성과 낮은 마찰력과 같은 장점들로 인하여 높은 정밀도를 요구하는 반도체나 디스플레이 장비의 선형 스테이지에 주로 사용 되어지고 있다. 하지만 현재까지 높은 정밀도를 요구하는 회전형 스테이지에는 아직까지 크로스 롤러링을 이용하여 가이드를 하고 있다. 본 논문에서는 높은 정밀도를 갖는 회전 스테이지의 설계를 위하여 구동 성능과 오차요소에 대한 성능에 대해 설계 목표를 제시 하였고 이러한 스테이지를 구현하기 위해 에어베어링을 적용한 회전형 스테이지를 설계하였다.

Keywords