한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- Pages.95-96
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- 2007
Ni-solution을 이용한 a-Si 결정화에 관한 연구
The study for the crystallization of a-Si by using the Ni-solution
- Son, Hyuk-Joo (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Jae-Hong (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Lee, Jeoung-In (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Yi, Jun-Sin (Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2007.06.21
초록
유리 기판 상부에 버퍼 층을 형성 한 후 플라즈마 화학 기상 증착 법을 이용하여 비정질 실리콘을 증착하고 Ni-solution을 이용하여 앓게 Ni 코팅한다. 그 시료를 약