Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
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- Pages.307-308
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- 2007
TIF Based Material Removal Control for Deterministic Pitch Tool Polishing for Large Optics fabrication
대구경 광학면 정밀가공을 위한 툴 영향 함수 기반 연마 제어 기법
Abstract
Keywords