한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2007년도 춘계학술발표대회 및 제12회 신소재 심포지엄
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- Pages.28.1-28.1
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- 2007
$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성
Effect of $SiO_2$ RF Power and Deposition Time in High-k $TiO_2-SiO_2$ Dielectric Layers
- 발행 : 2007.05.10