한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.751-752
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
12인치 Wafer Final Polishing System 구조물 설계에 관한 연구
Design of 12" Wafer Final Polishing System Structure
- Park, J.K. (TiC Duckheung Co. LTD) ;
- Ueda, T. (TiC Duckheung Co. LTD) ;
- Lee, S.Y. (TiC Duckheung Co. LTD) ;
- Shin, H.S. (TiC Duckheung Co. LTD)
- 발행 : 2007.06.20