한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.749-750
- /
- 2007
- /
- 2005-8446(pISSN)
12인치 웨이퍼 파이널 폴리싱 머신의 가압 압력 분포 해석
Analysis of Contact Pressure Distribution for a 12" Wafer Final Polishing Machine
- 발행 : 2007.06.20