Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
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- Pages.233-234
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
Developing Micro device of Measurement Stage for TEM
투과전자현미경용 시료 측정 스테이지 미세부품 개발
- Kook, M.H. ;
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Lee, S.Y.
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Kim, H.S.
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Yang, S.C.
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Kim, G.H.
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- Youn, Y.J.
- 국명호 (한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀) ;
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이상용
(한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀)
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김효식
(한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀)
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양순철
(한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀)
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김건희
(한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀)
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- 김윤중 (한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부)
- Published : 2007.06.20