한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

X-선 리소그래피공정의 무기물 입도에 따른 격벽 형상정밀도 특성

Shape Accuracy Improvement of barrier ribs using Sub-micron Inorganic Powder in X-ray lithography

  • 류승민 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김동주 (경북대학교 센서 및 디스플레이공학과) ;
  • 한만희 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 양동열 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 이승섭 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 박이순 (경북대학교 고분자공학과)
  • 발행 : 2007.06.20
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드