한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

리소그래피를 이용한 고해상 미세패턴-롤 제작

Fabrication of High-Resolution Micropatterned-Roll by using Lithography

  • 유종수 (충남대학교 재료공학과 대학원) ;
  • 조정대 (한국기계연구원 정보장비연구센터) ;
  • 김동수 (한국기계연구원 정보장비연구센터) ;
  • 김도진 (충남대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2007.11.08
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