한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

박막의 막성분 및 굽힘성분의 잔류응력 예측기법

Measurement Method of Membrane and Bending Residual Stress for thin films

  • 배홍열 (고려대학교 기계공학과) ;
  • 김윤재 (고려대학교 기계공학과) ;
  • 송태광 (고려대학교 기계공학과) ;
  • 박준협 (동명대학교 메카트로닉스공학과)
  • 발행 : 2007.11.08
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드