Precise three-dimensional ceramic micro-fabrication using an isotropic shrinkage guiding method in a precursor process

고수축률을 가지는 세라믹 전구체를 이용한 마이크로 공정의 형상 정밀화에 관한 연구

  • 임태우 (한국과학기술원 기계항공시스템학부) ;
  • 손용 (한국과학기술원 기계항공시스템학부) ;
  • 양동열 (한국과학기술원 기계항공시스템학부) ;
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  • 김동표 (충남대학교 바이오응용화학부) ;
  • 이광섭 (한남대학교 신소재공학과) ;
  • 박상후 (부산대학교 기계공학부)
  • Published : 2007.11.08