한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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Pages.157-158
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2007
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

미세 기계가공법과 SAM을 이용한 폭 $1{\mu}m$ 이하의 실리콘 선 가공

Micro-mechanical machining and SAM coating for sub-micro line patterning on silicon

오태석 (연세대학교 기계공학과) ;
김대은 (연세대학교 기계공학부)

Oh, T.S. ;
Kim, D.E.

발행 : 2007.11.08

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