리프트 오프 공정이 용이하고 내에칭성이 향상된 임프린트 레진 개발

development of lift-off friendly imprint resin with improved etch resistance

  • 황선용 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 변경재 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 홍은주 (고려대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2007.11.08