초정밀 대면적 미세 형상 가공기의 유정압 안내면 및 리니어 모터의 강성 규명

Stiffness Identification of Hydrostatic Guideways and Linear Motors of an Ultra-Precision Machine for Machining Large-Surface Micro-Features

  • 이원재 (한국항공대학교 항공우주 및 기계공학부 대학원) ;
  • 김석일 (한국항공대학교 항공우주 및 기계공학부) ;
  • 소상길 (한국항공대학교 항공우주 및 기계공학부 대학원)
  • 발행 : 2007.11.08