Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
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- Pages.126-126
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- 2007
나노 CMOS 소자를 위한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 특성 연구
- Kim, Ji-Yeong ;
- Kim, Cho-Rong ;
- Choe, Seung-Hwa ;
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Hwang, Suk-Hyeon
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Im, Jae-Yeong
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Ryu, Hyeok-Hyeon
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- Lee, Won-Jae ;
- Jeong, Sun-Yeon ;
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Lee, Hui-Deok
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- Kim, In-Gyeom ;
- Gang, Seok-Jun ;
- Yuk, Hyeong-Sang
- 김지영 (인제대학교 나노공학과) ;
- 김초롱 (인제대학교 나노공학과) ;
- 최승화 (인제대학교 나노공학과) ;
-
황숙현
(인제대학교 나노공학과) ;
-
임재영
(인제대학교 나노공학과) ;
-
류혁현
(인제대학교 나노공학과) ;
- 이원재 (충남대학교 전자공학과) ;
- 정순연 (충남대학교 전자공학과) ;
-
이희덕
(충남대학교 전자공학과) ;
- 김인겸 (실트론(주) 기술연구소) ;
- 강석준 (실트론(주) 기술연구소) ;
- 육형상 (실트론(주) 기술연구소)
- Published : 2007.02.06
Abstract
Keywords