대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구

  • 김홍범 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 이형철 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재 공학과)
  • Published : 2007.02.06