Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

평판형 디스플레이 패널 공정을 위한 대면적 건식식각 장치의 플라즈마 소스에 관한 연구

  • 박정균 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 임종혁 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 김경남 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 염근영 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부)
  • Published : 2007.02.06
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords