Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
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- Pages.58-58
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- 2007
반도체용 Precursor 증기압 측정 신뢰도향상 연구
- Im, Cheol-Min ;
- Park, Yeong-Jae ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Gang, Sang-U ;
- Yu, Seung-Min ;
- Seong, Dae-Jin ;
- Gwon, Gi-Hong ;
- Sin, Yong-Hyeon
- 임철민 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 박영재 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 유승민 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 권기홍 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
- Published : 2007.02.06
Abstract
Keywords