반도체용 Precursor 증기압 측정 신뢰도향상 연구

• Im, Cheol-Min ;
• Park, Yeong-Jae ;
• Yun, Ju-Yeong ;
• Gang, Sang-U ;
• Yu, Seung-Min ;
• Seong, Dae-Jin ;
• Gwon, Gi-Hong ;
• Sin, Yong-Hyeon

• 임철민 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 박영재 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 유승민 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 권기홍 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)

• Published : 2007.02.06

• PDF