Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

반도체 제조용 진공 펌프 신제품 개발에 미치는 외부 요인들

  • 김중조 (성원에드워드 주식회사) ;
  • 주장헌 (성원에드워드 주식회사) ;
  • 김효배 (성원에드워드 주식회사) ;
  • 김홍 (호서대학교 환경안전공학부)
  • Published : 2007.02.06
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