Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
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- Pages.164-165
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- 2007
The Comparison of Active Device Characteristics in Domestic Power IC Processes
국내 파워 IC 공정의 소자 특성 비교 분석
- Ko, Min-Jung (Department of Electronic and Computer Engineering, Dankook University) ;
- Park, Shi-Hong (Department of Electronic and Computer Engineering, Dankook University)
- Published : 2007.07.18
Abstract
파워 IC 공정은 CMOS 공정과 달리 내압별로 다양한 소자가 제공되며 BJT와 DMOS 구조를 포함할 경우 매스크가 20장이 넘는 매우 복잡한 공정이다. 본 논문에서는 국내의 파운드리 기업인 동부하이텍과 매그나칩사에서 제공하는 파워 IC 공정 및 제공되는 소자의 특성을 비교 분석하였다.
Keywords