Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2006.08a
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- Pages.141-141
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- 2006
Pt/Ti/ZnO 계면에서의 H, O 거동 및 TFT 특성에 미치는 영향평가
- Lee Jae-Cheol ;
- Jeong Ran-Ju ;
- Lee Eun-Ha ;
- Gang Dong-Hun ;
- Kim Chang-Jeong ;
- Song Lee-Heon ;
- Park Yeong-Su ;
- Seung Do-Yeong
- 이재철 (삼성종합기술원 AE Center) ;
- 정란주 (삼성종합기술원 AE Center) ;
- 이은하 (삼성종합기술원 AE Center) ;
- 강동훈 (삼성종합기술원 Semiconductor Device & Material Lab) ;
- 김창정 (삼성종합기술원 Semiconductor Device & Material Lab) ;
- 송이헌 (삼성종합기술원 Semiconductor Device & Material Lab) ;
- 박영수 (삼성종합기술원 Semiconductor Device & Material Lab) ;
- 승도영 (삼성종합기술원 AE Center)
- Published : 2006.08.01
Abstract
Keywords