부하 조건에 따른 건식 진공펌프의 배기성능 변화에 관한 연구

  • 김세환 (건양대학교 화학공학과) ;
  • 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 고문규 (건양대학교 화학공학과) ;
  • 정완섭 (한국표준과학연구원 역학그룹)
  • 발행 : 2006.08.01