반도체 CVD 공정용 Hybrid Screw형 저소비전력의 진공펌프 개발

  • 정순희 (㈜엘오티베큠 기술연구소) ;
  • 이준성 (㈜엘오티베큠 기술연구소) ;
  • 박제우 (㈜엘오티베큠 기술연구소) ;
  • 황태경 (㈜엘오티베큠 기술연구소) ;
  • 노명근 (㈜엘오티베큠 기술연구소)
  • 발행 : 2006.08.01