02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.182-182
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Realtime spectroscopic ellipsmetry studies of growth and etching of copper thin film
Jo Jong-Gyu
;
Gyeong Jae-Seon
;
No Sang-Bin
;
Im Ju-Sang
;
An Il-Seon
조종규
(한양 대학교 응용 물리학과) ;
경재선
(한양 대학교 응용 물리학과) ;
노상빈
(한양 대학교 응용 물리학과) ;
임주상
(한양 대학교 응용 물리학과) ;
안일선
(한양 대학교 응용 물리학과)
Published : 2006.02.01
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