02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.181-181
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
실리사이드 매개 결정화된 poly Si 의 공간분해능 타원편광분석기를 이용한 결정화도 연구
Choe Ae-Jin
;
Kim Tae-Jung
;
Kim Yeong-Dong
;
O Jae-Hwan
;
Jang Jin
최애진
(경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
김태중
(경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
김영동
(경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
오재환
(경희대학교 물리학과 및 차세대 디스플레이 연구소) ;
장진
(경희대학교 물리학과 및 차세대 디스플레이 연구소)
Published : 2006.02.01
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