Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Realtime spectroscopic ellipsmetry studies of growth and etching of copper thin film

  • 조종규 (한양 대학교 응용 물리학과) ;
  • 경재선 (한양 대학교 응용 물리학과) ;
  • 노상빈 (한양 대학교 응용 물리학과) ;
  • 임주상 (한양 대학교 응용 물리학과) ;
  • 안일선 (한양 대학교 응용 물리학과)
  • Published : 2006.02.01
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Abstract

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