Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

실리사이드 매개 결정화된 poly Si 의 공간분해능 타원편광분석기를 이용한 결정화도 연구

  • 최애진 (경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
  • 김태중 (경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
  • 김영동 (경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
  • 오재환 (경희대학교 물리학과 및 차세대 디스플레이 연구소) ;
  • 장진 (경희대학교 물리학과 및 차세대 디스플레이 연구소)
  • Published : 2006.02.01
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Abstract

Keywords