디지털 합금 AlGaAs층을 이용한 GaAs/AlGaAs DBR 제작 및 기판 표면에서의 균일도 측정

  • 조남기 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 송진동 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 이정일 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 최원준 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 전헌수 (서울대학교 물리학과)
  • 발행 : 2006.02.01