Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)
- 2006.10a
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- Pages.47-50
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- 2006
높은 비저항을 갖는 ZnO 박막 증착에 관한 연구
- Published : 2006.10.12
Abstract
본 연구에서는 높은 비저항을 갖는 ZnO 박막 증착 방법 및 특성의 안정성 향상 방안을 강구하였다. 그 결과 상온에서
Keywords