Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2006.11a
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- Pages.21-21
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- 2006
Shape control of ZnO thin films and nanorods grown by metalorganic chemical vapor deposition
MOCVD 법으로 저온에서 성장한 ZnO 박막과 나노구조의 모양변화
- Kim, Dong-Chan (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kong, Bo-Hyun (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Young-Yi (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Jun, Sang-Ouk (Sungkyunkwan Univ.) ;
- An, Cheal-Hyoun (Sungkyunkwan Univ.) ;
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Cho, Hyung-Koun
(Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2010.04.01
Abstract
21세기 정보통신 및 관련 소재의 연구방향은 새로운 기능성 확보, 극한적 제어성, 복합 및 융합이라는 경향으로 발전해 가고 있다. 반도체 기술 분야에서 현재의 공정적 한계를 극복하고 새로운 기능성을 부여하기 위해 나노 합성과 배열을 기본으로 하여 bottom-up 방식의 나노소자 구현이 큰 주목을 받고 있다. 나노선의 경우 나노 스케일의 dimension, 양자 제한 효과, 우수한 결정성, self-assembly, internal stress 등 기존 벌크형 소재에서 발견할 수 없는 새로운 기능성이 나타나고 있어 바이오, 에너지, 구조, 전자, 센서 등의 분야에서의 활용이 가능하다. 현재 국내외적으로 반도체 나노선으로 널리 연구되고 있는 재료는 ZnO,