Development of Curvature Sensor with nanometer scale

고정밀 곡률간섭계 개발

  • 김병창 (경남대학교 기계자동화공학부) ;
  • 김세헌 (경남대학교 기계자동화공학부 대학원) ;
  • 권용관 (경남대학교 기계자동화공학부 대학원) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)
  • Published : 2006.07.01