Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2006.07a
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- Pages.225-226
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- 2006
Proximity effect correction for photonic crystal devices using electron beam density map
전자빔 밀도 지도를 이용한 광결정 제작시 발생하는 근접 효과 보정
- Published : 2006.07.01
Abstract
Keywords