Fabrication of nanoporous silicon prepared by electrochemical anodic etching

전기화학적 에칭법을 이용한 나노 다공성 실리콘 제작

  • Im, Hae-Dong (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Choe, Cheol-Hyeon (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Seong, Jun-Ho (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Lee, Min-U (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Yang, Jeong-Su (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • O, Beom-Hwan (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Lee, Seung-Geol (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Park, Se-Geun (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA)) ;
  • Lee, Il-Hang (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA))
  • 임해동 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 최철현 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 성준호 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 이민우 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 양정수 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 오범환 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 이승걸 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 박세근 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 이일항 (집적형 광자기술센터 인하대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2006.07.01