Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2006.10a
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  • Pages.543-544
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  • 2006
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Ultra-Precision Micro-Stage for Active Vibration Control

능동형 진동제어를 위한 초정밀 마이크로 스테이지

  • Kim, H.S. (Dept. of Mech. and Aerospace. Eng., Seoul Nat'l Univ.) ;
  • Cho, Y.M. (Dept. of Mech. and Aerospace. Eng., Seoul Nat'l Univ.) ;
  • Kim, J.W. (Dept. of Mech. and Aerospace. Eng., Seoul Nat'l Univ.)
  • 김화수 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 조영만 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 김종원 (서울대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

Keywords