Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계

Design of an ultra precision stage of flexure mechanisms

  • 안일혁 (고려대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 최우천 (고려대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2006.10.18