한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.535-536
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- 2006
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- 2005-8446(pISSN)
Nano Stamp 제작을 위한 FIB 가공 공정 기술 연구
FIB Processing Technology for Nano Stamp
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Kang, E.G.
(KITECH)
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Choi, B.Y.
(KITECH)
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Hong, W.P.
(KITECH)
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Lee, S.W.
(KITECH)
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Choi, H.Z.
(KITECH)
- 발행 : 2006.10.18