Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2006.10a
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  • Pages.493-494
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  • 2006
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

metal nano patterning on the 6inch Si wafer substrate by Nano Transfer Printing

Nano Transfer Printing를 이용한 6inch Si wafer에서의 금속 패턴 형성 연구

  • Kim, J.W. (Dept. of Materials and Science and Engineering, Korea Univ.) ;
  • Yang, K.Y. (Dept. of Materials and Science and Engineering, Korea Univ.) ;
  • Byun, K.J. (Dept. of Materials and Science and Engineering, Korea Univ.) ;
  • Lee, H. (Dept. of Materials and Science and Engineering, Korea Univ.)
  • 김종우 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 변경재 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

Keywords