펨토초 레이저를 이용한 다이아몬드 미세가공 특성

Micro processing characteristics of diamond using femtosecond laser

  • 윤홍석 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 김재구 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 장원석 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 황경현 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터)
  • Yoon, H.S. (Nano-Mechanical Systems Research Center, KIMM) ;
  • Kim, J.G. (Nano-Mechanical Systems Research Center, KIMM) ;
  • Cho, S.H. (Nano-Mechanical Systems Research Center, KIMM) ;
  • Chang, W.S. (Nano-Mechanical Systems Research Center, KIMM) ;
  • Hwang, K.H. (Nano-Mechanical Systems Research Center, KIMM)
  • 발행 : 2006.10.18