Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2006.10a
- /
- Pages.173-174
- /
- 2006
- /
- 2005-8446(pISSN)
Fabrication of UV-NIL Stamp by Using Water-soluble Polymer and DLC Coating
Water-soluble 폴리머와 DLC 코팅을 이용한 UV-NIL 스탬프 제작
- Kim, K.D. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Jeong, J.H. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Altun, A. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Lee, D.I. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Choi, D.G. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Park, S.H. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Lee, E.S. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials)
- 김기돈 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 정준호 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 알툰알리 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 이동일 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 최대근 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 박상후 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 이응숙 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터)
- Published : 2006.10.18