Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2006.10a
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- Pages.161-162
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- 2006
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- 2005-8446(pISSN)
Self-Balanced Pneumatic Stage for UV Nanoimprinter
UV 나노 임프린트용 자기평형 공압 스테이지 연구
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Kim, K.
(Dept. of Mech. Design Eng., Korea Polytech Univ.)
;
- Koo, B.S. (Dept. of Mech. Design Eng., Korea Polytech Univ.) ;
- Cho, J.H. (Dept. of Mech. Design Eng., Korea Polytech Univ.) ;
- Kim, J.W. (Dept. of Mech. Design Eng., Korea Polytech Univ.) ;
- Kim, J.H. (Dept. of Mech. Design Eng., Korea Polytech Univ.)
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김광
(한국산업기술대학교 기계설계공학과)
;
- 구본석 (한국산업기술대학교 기계설계공학과) ;
- 조장현 (한국산업기술대학교 기계설계공학과) ;
- 김지완 (한국산업기술대학교 기계설계공학과) ;
- 김주현 (한국산업기술대학교 기계설계공학과)
- Published : 2006.10.18