대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2006년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.67-68
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- 2006
산소 가스 유량비에 따라 제작한 Al이 도핑된 ZnO 박막
AI doped ZnO thin film deposited with $O_2$ gas flow rate
- Cho, Bum-Jin (Kyungwon University) ;
- Keum, Min-Jong (Center for Advanced Plasma Surface Technology) ;
- Kim, Kyung-Hwan (Kyungwon University)
- 발행 : 2006.10.27
초록
We prepared the AZO thin film with different
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