Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2006.10a
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- Pages.26-27
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- 2006
Etching properties of BeCu Foil using $FeCl_3$ solution
염화제이철 용액을 이용한 베릴륨동 기판의 식각 특성
- Lee, Keun-Woo (Department of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang university) ;
- Lee, Byung-Wook (Department of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang university) ;
- Lee, Tae-Sung (Department of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang university) ;
- Lee, Jong-Ha (Department of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang university) ;
- Lee, Jae-Hong (Department of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang university) ;
- Kim, Chang-Kyo (Department of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang university)
- 이근우 (순천향대학교 전기공학과) ;
- 이병욱 (순천향대학교 전기공학과) ;
- 이태성 (순천향대학교 전기공학과) ;
- 이종하 (순천향대학교 전기공학과) ;
- 이재홍 (순천향대학교 전기공학과) ;
- 김창교 (순천향대학교 전기공학과)
- Published : 2006.10.27
Abstract
구리와 강철의 성질을 혼합한 것과 같은 우수한 성질을 갖고 있어서 열전도율이 좋고 내마모성이 뛰어난 베릴륨동 기판(BeCu foil)에 대한 식각 특성에 관하여 연구하였다. 일반적으로 베결륨구리에 대한 식각용액은 염화제이철(
Keywords