Development of Hybrid Sensor Module for Acceleration and Geomagnetic sensing

가속도 및 지자기 검지 기능의 복합센서 모듈 개발

  • Park, Ho-Joon (Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Central R&D Institute) ;
  • Chae, Kyoung-Soo (Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Central R&D Institute) ;
  • Jo, Sung-Hwan (Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Central R&D Institute) ;
  • Kim, Hyun-Joon (Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Central R&D Institute) ;
  • Hahm, Ghun (Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Central R&D Institute)
  • 박호준 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 채경수 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 조성환 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 김현준 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 함건 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.)
  • Published : 2006.07.12

Abstract

3축 가속도 센서, 2축 지자기 센서, 구동 ASIC 및 마이크로 컨트롤 유니트(MCU, Micro Control Unit)를 집적시킨 복합센서 모듈을 개발하였다. 센서 모듈의 사이즈는 $8.3mm{\times}5.3mm{\times}1.5mm$ (0.066 cc)로서 스택(stack) 패키징 방식으로 제작하였다. 제작된 센서 모듈의 특성은 가속도 센서와 지자기 센서 모두 목표한 범위내의 값이 얻어졌으며, 특히 까다로운 규격의 신뢰성 테스트 모두 통과함으로서 우수한 성능을 보유하고 있음을 입증할 수 있었다.

Keywords