Characteristics of Indium-Tin-Oxide electrode for continuous-flow PCR chip

연속흐름 중합효소연쇄반응칩 제작을 위한 인듐 산화막 전극의 특성분석

  • Joung, Seung-Ryong (Dept. of Nano Science and Engineering, Myongji University) ;
  • Yi, In-Je (Dept. of Nano Science and Engineering, Myongji University) ;
  • Kim, Jun-Hyuk (Dept. of Nano Science and Engineering, Myongji University) ;
  • Kim, Han-Soo (Dept. of Electronic Engineering, Doowon Technical College) ;
  • Kim, Jae-Wan (Dept. of Physics, Myongji University) ;
  • Choi, Y.J. (Dept. of Physics, Myongji University) ;
  • Kang, C.J. (Dept. of Physics, Myongji University) ;
  • Kim, Yong-Sang (Dept. of Electrical Engineering, Myongji University)
  • Published : 2006.07.12

Abstract

PDMS와 ITO 유리를 이용하여 continuous-flow PCR chip을 제작하였다. PDMS를 이용하여 microchannel을 형성하여 주었고, ITO electrode를 heater와 sensor로 사용하기 위하여 반도체 공정을 통해 패턴을 형성하였다. microchannel내에 흐르는 시료의 온도를 제어하기 위하여 heater와 sensor를 calibration을 하였다. ITO heater는 인가된 전압에 대해 매우 선형적인 발열을 하였으며, ITO sensor는 온도에 대해 선형적인 저항 변화를 나타낸 바, 그 결과 continuous-flow PCR chip의 정확한 온도 제어가 가능하였다.

Keywords